Os filmes finos têm sido utilizados em diferentes aplicações...

Os filmes de sílica (SiO2) podem ser obtidos por meio de decomposição de vapor químico. Nesse processo o tetracloreto de silício gasoso (SiCl4) reage com gás hidrogênio (H2) e gás carbônico (CO2). Além do filme de sílica são formados, como subprodutos, os gases cloreto de hidrogênio (HCl) e monóxido de carbono (CO).
A transformação química descrita é corretamente representada por: