A deposição de filmes finos ocorre em câmaras de vácuo e, em geral, se dá em substratos aquecidos. Filamentos metálicos posicionados dentro da câmara de deposição e situados a alguns centímetros dos substratos são utilizados para esse aquecimento.
Sabendo-se que esse filamento metálico é aquecido através da passagem de corrente elétrica até ficar incandescente, conclui-se que o aquecimento do substrato se dá por