Após uma limpeza interna no rack de equipamentos do MEV, os ...

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Q3760981 Engenharia Eletrônica
Após uma limpeza interna no rack de equipamentos do MEV, os mapas EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) passaram a ficar deslocados em relação à imagem SE (Secondary electron) e, às vezes, cintilam durante a varredura. A imagem SE está estável, WD (working distance) está no padrão e o EDS exibe dead time (DT) dentro dos padrões. Ajustes de foco e astigmatismo não resolvem.
O procedimento que corrige este problema de integração é
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