Nas técnicas de deposição de filmes finos, podem-se utilizar...

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Q2470171 Engenharia Elétrica
Nas técnicas de deposição de filmes finos, podem-se utilizar métodos químicos ou físicos. Nesse contexto, é um método químico
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D

O método CVD é fundamentalmente químico, pois envolve reações químicas de gases precursores na superfície do substrato. Já a evaporação e o sputtering são classificados como PVD (Deposição Física de Vapor), baseando-se em processos físicos.

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