Essa técnica se baseia na absorção de feixe de radiação de raios X, medindo-se, consequentemente, a atenuação do feixe após sua passagem através da amostra.

A referida técnica se baseia na excitação dos átomos da amostra por incidência de feixe de raios X, gerando radiação secundária.

Nessa técnica, assim como na técnica da microssonda eletrônica, a radiação gerada provém da interação dos átomos da amostra com o feixe de elétrons colimado (feixe incidente). 

Essa técnica se baseia na excitação característica dos componentes da amostra, quantificando diretamente as fases cristalográficas presentes, resultando em análise mineralógica, ao contrário da espectrometria de emissão atômica por plasma acoplado indutivamente – ICP

Essa técnica se baseia na excitação característica dos componentes da amostra, quantificando diretamente as fases cristalográficas presentes, resultando análise mineralógica, assim como no caso da espectrometria de absorção atômica.