Amostras sólidas não podem ser analisadas por equipamentos que utilizam fontes de plasma como atomizadores. 

Na nebulização direta, quando se emprega a injeção em fluxo ou a cromatografia líquida, um fluxo de amostra é introduzido com uma concentração que não varia com o tempo, procedimento que resulta em um aerossol independente do tempo. 

Uma das vantagens das fontes de plasma reside no fato de que, por ser relativamente frio, o plasma não afeta o cilindro de quartzo que compõe o nebulizador. 

Nos atomizadores contínuos, as amostras individuais são injetadas por meio de uma seringa ou um amostrador automático.

O plasma acoplado indutivamente (ICP) é uma fonte de radiofrequência que oferece grande vantagem no que diz respeito a sensibilidade e isenção de interferências.